[1]
Бердибеков, А. и др. 2022. Магнетронное напыление защитных покрытий на детали поверхностей изделий и инструментов с использованием изготовленных по новой технологии многоэлементных мишеней. Eurasian Physical Technical Journal. 19, 3(41) (окт. 2022), 34–38. DOI:https://doi.org/10.31489/2022No3/34-38.