Махабаева А, Чиркова Л, Гученко С, Тулеуов С, Маханов К, Шакирзянов Р, и др. Исследование оптических и электрических свойств пленок оксинитрида титана. Eurasian phys. tech. j. [Интернет]. 29 декабрь 2025 г. [цитируется по 15 январь 2026 г.];22(4 (54):24-30. доступно на: https://phtj.buketov.edu.kz/EPTJ/article/view/1311