Магнетронное напыление защитных покрытий на детали поверхностей изделий и инструментов с использованием изготовленных по новой технологии многоэлементных мишеней. - Бердибеков A.T.; Лауринас V.Ch.; Доля A.V.; Грузин V.V.; Гученко S.A.; Твардовский A.N. (Eurasian Physical Technical Journal, 2022)
В последнее время использование магнетронного напыления для нанесения защитных покрытий интенсивно развивается. Большая перспектива использования этого метода обусловлена за счет возможности нанесении высокоэнтропийных покрытий, которые используются для защиты поверхностей, подвергающих одновременному воздействию повышенных температур, агрессивных сред и различным видам износа. В данной работе предложен способ изготовления новых видов мишеней для магнетронного напыления, с подробно описанной технологической цепочкой их изготовления. Новизна заключается в возможности при использовании одной мишени нанесения многоэлементных покрытий. Это обусловлено тем, что количество различных элементов в мишени может измеряться десятками. Также в работе приведен полученный положительный результат использования при магнетронном напылении мишени, в состав которой входило пять различных металлов.