Исследование структуры пленок аморфного углерода, модифицированных оксидом кремния - Рягузов A.P.; Кудабаева M.A.; Немкаева R.R.; Гусейнов N.R.; Мырзабекова M.M. (Eurasian Physical Technical Journal, 2019)
В данной работе рассматриваются пленки аморфного углерода, модифицированные оксидом кремния (а-C1-x:(SiO)х), полученные методом магнетронного ионно-плазменного со-распыления комбинированной мишени в атмосфере аргона. Исследованы топография и фазовый контраст поверхности пленок методом атомно-силовой микроскопии. Изучена локальная структура методом рамановской спектроскопии. Показано, что увеличение концентрации кремния приводит к росту фотолюминесценции. Смещение G пика в низкочастотную область в пленках а-C1-x:(SiO)х указывает на увеличение sp3 гибридизации связей углерода.