Жұқа металл қабыршақтардың біртексіздігі мен ақауларын зерттеудің құйынды ток әдісі.
DOI:
https://doi.org/10.31489/2023No4/116-124Кілт сөздер:
жұқа қабықшалар, металдар, құйынды ток түрлендіргіші, материалдарды зерттеу, қабыршақтың біртексіздігіАңдатпа
Жұқа металл қабыршақтардың қалыңдығының аздығымен байланысты әртүрлі құрылымдар мен ерекше қасиеттер олардың физикалық сипаттамалары массивтік күйдегі сондай материалдардан айтарлықтай ерекшеленетіндігіне әкеледі. Жұқа металл қабыршақтарының сипаттамаларын анықтау үшін бұзбайтын зерттеудің жаңа әдістерін әзірлеу өзекті болып табылады. Мақалада әртүрлі металдардың жұқа металл қабыршақтарының бетін зерттеу үшін құйынды токты бақылау әдісінің артықшылықтары негізделген. Жұқа металл қабыршақтарының электр өткізгіштігін, қалыңдығын және зақымдану дәрежесін зерттеуге арналған аса кіші құйынды ток түрлендіргішінің конструкциясы ұсынылған, сонымен қатар әзірленген түрлендіргішті басқаруға мүмкіндік беретін бағдарламалық-аппараттық кешен жасалған. Металл қабыршақтары зерттеу негіздеме бетіне заттың таралуының біртексіздігін көрсетті. Сондай-ақ, әзірленген түрлендіргіштің сигнал амплитудасының қабыршақ қалыңдығына тәуелділігі анықталды. Алынған нәтижелерді тексеру үшін фотометриялық әдіспен қабыршақтардың жарықтың өткізуіне зерттеу жүргізілген. Екі әдіспен алынған өлшеу нәтижелерін салыстыру әзірленген қабыршақтарды зерттеу әдістері арасындағы жоғары үйлесімділікті көрсетті.
References
Mansurov G.N., Petriy O.A. Electrochemistry of thin metal films. Moscow. 2011, 351 p. [in Russian]
Yurkov V., Ryzhii V. Effect of Coulomb scattering on graphene conductivity. JETP Lett., 2008, Vol. 88, No. 5, pp. 370 – 373. doi:10.48550/arXiv.0807.3880
Khokhlov A. Novel highly elastic magnetic materials for dampers and seals: Part I. Preparation and characterization of the elastic materials. Polym. Adv. Technol., 2007, Vol. 18, No 11, pp. 883 – 890. doi:10.1002/pat.924
Kosobudskii I. Nanocomposites based on the cerium oxide nanoparticles and polyethylene matrix: Syntheses and properties. Acta Mater., 2008, Vol. 56, No.10, pp. 2336-2343. doi:10.1016/j.actamat.2008.01.019
Borodina I. Influence of conducting layer and conducting electrode on acoustic waves propagating in potassium niobate plates. IEEE Trans. on Ultrason. Ferroelectrics. and Freq. Cont., 2001, Vol. 48, No 2, pp. 624-626. doi:10.1109/58.911747
Whiteside P., Chininis J., Hunt H. Techniques and Challenges for Characterizing Metal Thin Films with Applications in Photonics. Coat, 2016, Vol. 6, No.3. doi:10.3390/coatings6030035
Wang Z., Han Y., Xu N. Characterization of Thin Metal Films Using Terahertz Spectroscopy. IEEE Trans. Terah. Sci. Tech., 2018, Vol. 99, pp.1-4. doi:10.1109/TTHZ.2017.2786692
Giurlani W., Berretti E. Measuring the Thickness of Metal Films: A Selection Guide to the Most Suitable Technique. Mater. Proc., 2020, Vol. 2, No. 1, pp. 12-35. doi:10.3390/CIWC2020-06823
Lu X. In-situ measurement of Cu film thickness during the CMP process by using eddy current method alone. Microelectronic Engineering, 2013, Vol. 108, pp. 66-70. doi:10.1016/j.mee.2013.03.046
Zheng Y. Noncontact thickness measurement of cu film on silicon wafer using magnetic resonance coupling for stress free polishing application. IEEE Access, 2019, Vol. 7, pp. 75330-75341. doi:10.1109/ACCESS.2019.2921005
García-Martín J., Gómez-Gil J., Vázquez-Sánchez E. Non-destructive techniques based on eddy current testing. Sensors, 2011, Vol. 11, No. 3, pp. 2525–2565. doi:10.3390/s110302525
Krause T.W. Simultaneous multiparameter measurement in pulsed eddy current steam generator data using artificial neural networks. IEEE Trans. Instrum. Meas., 2016, Vol. 65, No. 3, pp. 672-679. doi:10.1109/TIM.2016.2514778
Pasadas D.J. Inspection of cracks in aluminum multilayer structures using planar ECT probe and inversion problem. IEEE Trans. Instrum. Meas., 2017, Vol. 66, No. 5, pp. 920–927. doi:10.1109/TIM.2017.2682758
Bernieri A. Multifrequency excitation and support vector machine regressor for ECT defect characterization. IEEE Trans. Instrum. Meas., 2014, Vol. 63, No. 5, pp. 1272–1280. doi:10.1109/TIM.2013.2292326
Wang H., Li W., Feng Z. Noncontact thickness measurement of metal films using eddy-current sensors immune to distance variation. IEEE Trans. Instrum. Meas., 2015, Vol. 64, No. 9, pp. 2557–2564. doi:10.1109/TIM.2015.2406053
Yang H.-C., Tai C.-C. Pulsed eddy-current measurement of a conducting coating on a magnetic metal plate. Meas. Sci. Technol., 2002, Vol. 13, No. 8, pp. 1259–1265. doi:10.1088/0957-0233/13/8/313
Danon Y., Lee C., Mulligan C., Vigilante G. Characterizing tantalum sputtered coatings on steel by using eddy currents, IEEE Trans. Magn., 2004, Vol.40, No.4, pp. 1826-1832. doi:10.1109/TMAG.2004.828040
Ishkov A., Malikov V., Dmitriev S. Scanning steel junctions using eddy current probe. J. Phys.: Conf. Ser., 2021, Vol. 1728. doi:10.1088/1742-6596/1728/1/012007
Bowler J.R., Norton S.J. Eddy current inversion for layered conductors. Res. Nondestr. Eval., 1992, Vol. 4, No. 4, pp. 205–219. doi:10.1007/BF01616488
Moulder J.C., Uzal E., Rose J.H. Thickness and conductivity of metallic layers from eddy current measurements. Rev. Sci. Instrum., 1992, Vol. 63, No. 6, pp. 3455–3465. doi:10.1063/1.1143749
Ping-jie H., Zhao-tong W. Inversion of thicknesses of multi-layered structures from eddy current testing measurements. J. Zhejiang Univ. Sci., 2004, Vol. 5, No. 1, pp. 86-91. doi:10.1007/BF02839318
Li Y., Chen Z., Mao Y., Qi Y. Quantitative evaluation of thermal barrier coating based on eddy current technique. NDT&E Int., 2012, Vol. 50, pp. 29–35. doi:10.1016/j.ndteint.2012.04.006
Li Y., Yan, B., Li W., Li D. Thickness assessment of thermal barrier coatings of aeroengine blades via dual-frequency eddy current evaluation. IEEE Magn. Lett., 2016, Vol. 7, pp. 1304905. doi:10.1109/LMAG.2016.2590465
Sethuraman A., Rose J.H. Rapid inversion of eddy current data for conductivity and thickness of metal coatings. J. Nondestruct. Eval., 1995, Vol. 14, No. 1, pp. 39–46. doi:10.1007/BF00735670
Tai C.-C., Rose J.H., Moulder J.C. Thickness and conductivity of metallic layers from pulsed eddy-current measurements. Rev. Sci. Instrum., 1996, Vol. 67, No. 11, pp. 3965–3972. doi:10.1063/1.1147300
Zhang D., Yu Y., Lai C., Tian G. Thickness measurement of multi-layer conductive coatings using multifrequency eddy current techniques. Nondestruct. Test. Eval., 2016, Vol. 31, No. 3, pp. 191–208. doi:10.1080/10589759.2015.1081903
Yu Y., Zhang D., Lai C., Tian G. Quantitative approach for thickness and conductivity measurement of monolayer coating by dual-frequency eddy current technique. IEEE Trans. Instrum. Meas., 2017, Vol. 66, No. 7, pp. 1874–1882. doi:10.1109/TIM.2017.2669843
Katasonov A.O., Malikov V.N., Dmitriev S.F. Scanning the thickness of conductive and dielectric coatings using superminiature eddy current probe. Lecture Notes in Civil Eng., 2021, Vol. 130. pp. 548 – 554. doi:10.1007/978-981-33-6208-6_54
Malikov V.N., Fadeev D.A., Dmitriev S.F. Study of surface and electrical conductivity of thin metal films of the Ni-Al system. Nanobiotechnology reports, 2021. Vol. 16. No. 2. pp. 261 – 265. doi:10.1134/S2635167621020051
Ishkov A.V., Malikov V.N., Sagalakov A.M. Subminiature eddy current transducers for thickness measurement problems. Journal of Machinery Manufacture and Reliability, 2020, Vol. 49, No. 9, pp. 783 – 786. doi:10.3103/S105261882009006X
Ishkov A.V., Malikov V.N., Sagalakov A.M. Subminiature eddy-current transducers for conductive materials and layered composites research. Advances in Intelligent Systems and Computing, 2018, No. 692, pp. 655 – 665. doi:10.1007/978-3-319-70987-1_70
